氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)設(shè)備，其原理基于帶電粒子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)以及氣體分子對(duì)電磁輻射的吸收。該系統(tǒng)的部件是氦離子源和質(zhì)譜儀。
當(dāng)需要檢查的對(duì)象內(nèi)部存在微小壓力時(shí)，可以使用液態(tài)惰性氣體作為示蹤劑（例如：氦氣），通過(guò)管道進(jìn)入待測(cè)對(duì)象內(nèi)并被稀釋到很低濃度后從密封區(qū)域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此時(shí)可以通過(guò)測(cè)量總釋放量Ra來(lái)判斷泄露是否發(fā)生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠小時(shí)則認(rèn)為發(fā)生了泄露[1]。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)真空容器內(nèi)氦氣泄漏的設(shè)備。它利用氦氣在真空中的穩(wěn)定性和不易被壓縮的特性，通過(guò)對(duì)真空容器內(nèi)氦氣濃度的檢測(cè)來(lái)判斷容器是否存在泄漏。
該系統(tǒng)的工作原理如下：首先，將真空容器放入氦檢漏系統(tǒng)的真空室中，然后向容器內(nèi)充入一定量的氦氣。接著，打開(kāi)真空室的入口閥門(mén)，使真空室內(nèi)的壓力逐漸降低，當(dāng)壓力降至某一預(yù)設(shè)值時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)檢測(cè)氦氣濃度，并將檢測(cè)到的數(shù)據(jù)記錄下來(lái)。
如果容器存在泄漏，那么在壓力降低的過(guò)程中，氦氣會(huì)從泄漏點(diǎn)逸出，導(dǎo)致容器內(nèi)氦氣濃度下降，從而被檢測(cè)器檢測(cè)到。系統(tǒng)會(huì)根據(jù)設(shè)定的閾值來(lái)判斷是否存在泄漏，并發(fā)出報(bào)警信號(hào)或停止真空室內(nèi)的工作。
該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、半導(dǎo)體、等領(lǐng)域，用于檢測(cè)和監(jiān)測(cè)真空容器內(nèi)的氦氣泄漏，保證產(chǎn)品質(zhì)量和安全。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)主要用于檢測(cè)電子產(chǎn)品的密封性能，常用于手機(jī)、筆記本電腦等產(chǎn)品在量產(chǎn)線(xiàn)上的可靠性和一致性測(cè)試。該系統(tǒng)的操作原理是：首先將待測(cè)電子產(chǎn)品放入真空氣氛室中抽真空并充入高純度惰性氣體——氦氣；然后通過(guò)的信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生高頻電脈沖或機(jī)械振動(dòng)源（聲學(xué)法），均勻地輻射到被測(cè)樣品上形成特定的應(yīng)力場(chǎng)；接著利用示蹤粒子“氦”原子無(wú)色透明且易與環(huán)境介質(zhì)充分滲透的特點(diǎn)，使氦氣的濃度能夠迅速傳遞到達(dá)泄漏點(diǎn)并在其中彌散和溶解起來(lái)；使用靈敏的測(cè)量?jī)x器對(duì)抽取到的含有微小泄露物的樣本進(jìn)行定量分析以得出樣品的實(shí)際壓力值并與參考標(biāo)準(zhǔn)相比較來(lái)判斷是否合格。
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